顯然，壓力傳感器在汽車(chē)上有廣闊的發(fā)展前景。 壓力傳感器可以廣義地分為三類(lèi)：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。 下面，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹應(yīng)用于汽車(chē)的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。 壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的。 所謂壓阻元件實(shí)際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，當(dāng)它受外力作用時(shí)，其阻值由于電阻率的變化而改變。 擴(kuò)散電阻正常工作時(shí)需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。 壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu)，封裝在外殼內(nèi)。 在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個(gè)擴(kuò)散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們組成一個(gè)全橋測(cè)量電路。